MMI
Ieškoti

Elektroninė litografija
Aprašymas: Elektroninės nanolitografija. Lauko emisijos elektronų šaltinis, greitinančioji įtampa keičiama nuo 20 V iki 30 kV, staliuko eigos kontrolė lazeriniu interferometru, sausa vakuumo sistema, bandinio dydis iki 102x102 mm. Struktūrų matmenys < 100 nm.

Raktažodžiai: Elektroninė litografija

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Centrifuga fotorezisto ir kitų plonų sluoksnių formavimui
Centrifuga su kaitlente fotorezisto ir kitų plonų sluoksnių formavimui ir džiovinimui
Elektroninės litografijos ir elektroninės mikroskopijos įrenginys su rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometru
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma