MMI
Ieškoti

Plonų dielektrinių, metalinių sluoksnių ir deimanto tipo anglies dangų bei joninių ir plazminių metodų kūrimas, tyrimas ir taikymas.
Aprašymas: Paslauga skirta metalinių ir dielektrinių dangų formavimui.Plėvelės gali būti auginamos vakuuminio garinimo, magnetroninio dulkinimo, plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės būdais. Formuojamų dangų storis kontroliuojamas mikroprocesoriumi ir kvarciniu storio matuokliu. Padėklų temperatūra: 20 – 400oC

Raktažodžiai: vakuuminis garinimas, magnetroninis dulkinimas, jonpluoštė sintezė, radijo dažnio plazma aktyvuotas cheminis nusodinimas iš garų fazės, mikrobange plazma aktyvuotas cheminis nusodinimas iš garų fazės

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Šviesolaidinis spektrometras AvaSpec-2048
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras
Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema
Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E
Spektroskopinis elipsometras
Ramano sklaidos spektrometras Renishaw in Via Spectrometer su priedais
Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema
Pikoampermetras/įtampos šaltinis
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma