Metalo ir puslaidininkio (Schottky ir ominių) kontaktų formavimas ir tyrimas
Aprašymas:
Užtvarinių metalo ir puslaidininkio (Schottky) kontaktų formavimas vakuuminio garinimo arba magnetroninio dulkinimo būdais. Galima III-V puslaidininkių Schottky kontakto potencialinio barjero aukščio kontrolė. GaAs ominių kontaktų formavimas derinant AuGe sluoksnių auginimą ir atkaitinimą. Al-GaAs ominių kontaktų formavimas.
Užtvarinių metalo ir puslaidininkio (Schottky) kontaktų formavimas vakuuminio garinimo arba magnetroninio dulkinimo būdais. Galima III-V puslaidininkių Schottky kontakto potencialinio barjero aukščio kontrolė. GaAs ominių kontaktų formavimas derinant AuGe sluoksnių auginimą ir atkaitinimą. Al-GaAs ominių kontaktų formavimas.
Raktažodžiai:
Schottky kontaktas, ominis kontaktas, vakuuminis garinimas, elektrinės savybės
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema
Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Pikoampermetras/įtampos šaltinis
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S
Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430
Spektroskopinis elipsometras
Ramano sklaidos spektrometras Renishaw in Via Spectrometer su priedais
Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP
Šviesolaidinis spektrometras AvaSpec-2048
Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema