MMI

Metalo ir puslaidininkio (Schottky ir ominių) kontaktų formavimas ir tyrimas
Aprašymas:
Užtvarinių metalo ir puslaidininkio (Schottky) kontaktų formavimas vakuuminio garinimo arba magnetroninio dulkinimo būdais. Galima III-V puslaidininkių Schottky kontakto potencialinio barjero aukščio kontrolė. GaAs ominių kontaktų formavimas derinant AuGe sluoksnių auginimą ir atkaitinimą. Al-GaAs ominių kontaktų formavimas.

Raktažodžiai:
Schottky kontaktas, ominis kontaktas, vakuuminis garinimas, elektrinės savybės

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Šviesolaidinis spektrometras AvaSpec-2048
Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3
Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema
Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP
Pikoampermetras/įtampos šaltinis
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Spektroskopinis elipsometras
Ramano sklaidos spektrometras Renishaw in Via Spectrometer su priedais
Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430
Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E
Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema
Užklausos forma