MMI
Ieškoti

Metalo ir puslaidininkio (Schottky ir ominių) kontaktų formavimas ir tyrimas
Aprašymas: Užtvarinių metalo ir puslaidininkio (Schottky) kontaktų formavimas vakuuminio garinimo arba magnetroninio dulkinimo būdais. Galima III-V puslaidininkių Schottky kontakto potencialinio barjero aukščio kontrolė. GaAs ominių kontaktų formavimas derinant AuGe sluoksnių auginimą ir atkaitinimą. Al-GaAs ominių kontaktų formavimas.

Raktažodžiai: Schottky kontaktas, ominis kontaktas, vakuuminis garinimas, elektrinės savybės

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Šviesolaidinis spektrometras AvaSpec-2048
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras
Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S
Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema
Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E
Spektroskopinis elipsometras
Pikoampermetras/įtampos šaltinis
Ramano sklaidos spektrometras Renishaw in Via Spectrometer su priedais
Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma