Metalinių, puslaidininkinių bei dielektrinių sluoksnių formavimas vakuuminiais joniniais ir plazminiais metodais bei jų savybių tyrimai
Aprašymas:
Paslauga skirta metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Optinė sistema su skenuojančiu monochromatoriumi suteikia galimybę kontroliuoti formuojamų dielektrinių dangų optinį storį. Tuo pat metu storis matuojamas ir kvarciniu storio matuokliu. Padėklų temperatūra: 20 – 400oC Vakuumas kameroje: 10-3 Pa
Paslauga skirta metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Optinė sistema su skenuojančiu monochromatoriumi suteikia galimybę kontroliuoti formuojamų dielektrinių dangų optinį storį. Tuo pat metu storis matuojamas ir kvarciniu storio matuokliu. Padėklų temperatūra: 20 – 400oC Vakuumas kameroje: 10-3 Pa
Raktažodžiai:
metalai, dielektrikai, puslaidininkiai, ploni sluoksniai, vakuuminis garinimas, magnetroninis dulkinimas, jonpluoštė sintezė, radijo dažnio plazma aktyvuotas cheminis nusodinimas iš garų fazės, mikrobange plazma aktyvuotas cheminis nusodinimas iš garų fazės, struktūra, cheminės sudėtis, elektrinės savybės, optinės savybės, mechaninės savybės
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Magnetronas. Naudojamas tik sumontuotas vakuuminiame įrenginyje (kameroje). 3" skersmens keičiamos magnetinio lauko konfigūracijos magnetronas MAK Flexmou.
Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema
Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S
Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430
Spektroskopinis elipsometras
Ramano sklaidos spektrometras Renishaw in Via Spectrometer su priedais
Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP
Šviesolaidinis spektrometras AvaSpec-2048
Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema