Naudojama Raith E-LINE yra elektronų pluošto nanolitografijos sistema su 100 x 100 mm staliuko eiga, kuri kontroliuojama lazeriniu interferometru 2 nm tikslumu. Naudojamas lauko emisijos elektronų šaltinis. Elektronų pluoštelio srovė kontroliuojama, pasirenkant atitinkamą apertūrą (7,5, 10, 20, 30, 60 arba 120 µm). Didesni eksponavimo laukai padalinami į mažesnius darbinius laukus. Standartinio eksponavimo lauko dydis yra 100 µm su 2 nm pikselio dydžiu. Darbinio lauko ribose eksponavimas atliekamas nuosekliai - pikselis po pikselio. Speciali programinė įranga leidžia koreguoti artumo efektą bei atlikti trimatę (3D) litografiją.