MMI

Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700
Aprašymas:

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Raktažodžiai:
nanogamyba, ploni sluoksniai, vakuuminis nusodinimas, magnetroninis dulkinimas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
  • Bazinis slėgis: 
  • Bandinio dydis: 
  • Medžiagos: 
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba
Užklausos forma