Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
nanogamyba, ploni sluoksniai, vakuuminis nusodinimas, magnetroninis dulkinimas
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
- Bazinis slėgis:
- Bandinio dydis:
- Medžiagos:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba