Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP
Aprašymas:
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP
Raktažodžiai:
vakuuminis garinimas, ploni sluoksniai, nusodinimas, auginimas, sluoksnių formavimas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Elektronų patrankos galia iki 5 kW
Taikymo sritys:
Plonų nikelio sluoksnių nusodinimas vakuuminio garinimo būdu
Plonų nikelio sluoksnių nusodinimas vakuuminio garinimo būdu