MMI
Ieškoti

Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430
Aprašymas: Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430

Raktažodžiai: radijo dažnio plazma, reaktyvusis joninis ėsdinimas, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, sluoksnių formavimas

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija: plazmos šaltinio galia 3 kW plazmos dažnis 13.56 MHz srities kur vyksta ėsdinimas skersmuo 15 cm
Taikymo sritys: Paviršinio mikroformavimo procesai, reaktyvusis joninis dielektrikų (kvarcas, SiO2, Si3N4) ėsdinimas
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma