MMI
Ieškoti

Metalo plėvelių garinimas. Kombinuotų holograminių lipdukų kūrimas ir tyrimas. Mikrosistemų kūrimas ir tyrimas. Plonų dielektrinių, metalinių sluoksnių ir deimanto tipo anglies dangų bei joninių ir plazminių metodų kūrimas, tyrimas ir taikymas. Metalo ir puslaidininkio (Schottky ir ominių) kontaktų formavimas ir tyrimas. Deimanto tipo anglies dangų sintezė ir tyrimas. Metalinių, puslaidininkinių bei dielektrinių sluoksnių formavimas vakuuminiais joniniais ir plazminiais metodais bei jų savybių tyrimai.
Aprašymas:

Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3

Raktažodžiai: vakuuminis garinimas, ploni sluoksniai, metalo plėvelės, auginimas, nusodinimas, GaAs ominis kontaktas, sluoksnių formavimas, vakuuminiai metodai

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:

Elektronų patrankos galia iki 5 kW

Taikymo sritys: Metalinių sluoksnių ir GaAs ominių kontaktų auginimas
Užklausos forma