MMI
Ieškoti

Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Aprašymas:

Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I

Raktažodžiai: gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, didelio tankio plazma, ICP, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, gilus ėsdinimas, sluoksnių formavimas

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:

Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm

Taikymo sritys: gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, tūrinis mikroformavimas
Užklausos forma