Epitaksinių GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS
Aprašymas:
Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS
Raktažodžiai:
Epitaksiniai GaAs sluoksniai, sluoksnių formavimas, epitaksija
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga
Techninė specifikacija:
Epitaksiniams GaAs sluoksniams auginti skirtos 8 kaitinimo talpos, kompiteriu valdomos 8 sklendės, bandinių transportavimas vakuume, vakuumas ne mažiau 1*10-10 Torr,
Taikymo sritys:
Epitaksinių GaAs sluoksnių auginimas,auginamų sluoksnių kontrolė
Epitaksinių GaAs sluoksnių auginimas,auginamų sluoksnių kontrolė