Paviršių vaizdinimas skenuojančiu elektronų mikroskopu (SEM)
Aprašymas:
Skenuojantis elektroninis mikroskopas QUANTA200FEG
Raktažodžiai: Mikroskopija, didinimas, vaizdinimas, skenuojantis elektronų mikroskopas, SEM, skenuojantis rastrinis mikroskopas, elektronų mikroskopas, antriniai elektronai, atgal išsklaidyti elektronai, ESEM, lauko emisijos katodas
Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Skiriamoji geba aukštame vakuume iki 1.2 nm (30 kV, SE), iki 2.5 nm 30 kV (BSE), 3 nm (1 kV, SE). Trys darbiniai vakuumo režimai: Aukštas vakuumas (<6e-4 Pa) žemas vakuumas (10-130 Pa), dar žemesnis vakuumas (10-4000 Pa) Galima tirti laidžius ir nelaidžius mėginius
Taikymo sritys: Paviršiaus vaizdinimas