Rinkinys optinių traktų, skirtų automatizuotai LIoyd`o veidrodžio holografinei sistemai
Aprašymas:
Rinkinys optinių traktų, skirtų automatizuotai LIoyd`o veidrodžio holografinei sistemai
Raktažodžiai:
Lazeris, UV, holografinė litografija, perdioninės struktūros, difrakcinės gardelės, interferencinė litografija, litografija, vienamtės, dvimatės, trimatės, lazerinė technika
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Lloyd`o veidrodžio automatizuota holografinės litografijos sistema. Galima formuoti mažesnio nei 500 nm periodo struktūras
Taikymo sritys:
Holografinė litografija, mikroapdirbimas
Holografinė litografija, mikroapdirbimas