
Centrifuga su kaitlente fotorezisto ir kitų plonų sluoksnių formavimui ir džiovinimui
Raktažodžiai:
Centrifuga, ploni polimeriniai sluoksniai, kaitlentė, sluoksnių formavimas
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Sukimo greitis iki 10000 aps/min, trukmė 1-999 s, kaitlentės temperatūra programuojama nuo 50 iki 250ºC, kaitinimo plotas iki 230x230 mm
Plonų sluoksnių formavimas ir džiovinimas