Sutapdinimo ir nanoįspaudimo litografijos įrenginys - OAI Hybralign 204IR
Aprašymas:
OAI Hybralign Series 204IR yra kaukių sutapdinimo įrenginys, naudojamas lygiagrečiam plokštelių eksponavimui per fotošabloną, taip perkeliant mikrostruktūras į šviesai jautrų sluoksnį. Įrenginys gali naudoti artimo UV ir gilaus UV diapazono šviesą. Taip pat yra galimybė sutapdinti su žymėmis priešingoje plokštelės pusėje. Be to, įrenginyje yra integruotas UV nanoįspaudimo litografijos priedas.
Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
nanofabrication,lithography,photolithography,exposure,nanoimprint lithography (NIL),nanogamyba,litografija,fotolitografija,eksponavimas,nanoįspaudimo litografija (NIL)
Mokslo kryptis:
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
Trumpas paslaugos aprašymas:
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba