Aprašymas:

Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS

Aprašymas:

Paviršiaus tyrimas Rentgeno fotoelektronų ir Ože elektronų spektroskopijomis,  medžiagų  elementinės sudėties tyrimai, cheminių rųšių tarp elementų tyrimai, paviršiaus ėsdinimas argono jonais, tiesioginė sąsaja vakume su GaAs sluoksnių auginimo sistema 

Aprašymas:

Raith e-Line Plus yra pažangi elektroninės litografijos sistema, skirta didelio tikslumo nanogamybai ir nanoraštų formavimui. Tai yra lankstus įrenginys, turintis aukštos raiškos elektronų pluošto koloną, galintis formuoti >10 nm nanostruktūras. Raith e-Line Plus turi draugišką vartotojo sąsają ir nesudėtingą programinį valdymą, kas padeda efektyviai ir tiksliai paversti suprojektuotus raštus realybe. Ši sistema taip pat gali veikti kaip skenuojantis elektroninis mikroskopas (SEM) bei gali atlikti paviršių cheminę analizę (EDX), pažymint elementus nuo Be iki Am.

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Aprašymas:

Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema. Medžiagų  elementinės sudėties tyrimai, cheminių rųšių tarp elementų tyrimai taikant: Rentgeno fotoelektronų spektroskopija (XPS); jonų sklaidos spektroskopija (ISS); atspindėtų elektronų prarastos energijos spektroskopija (REELS);  UV fotoelektronų spindulių spektroskopija (UPS); kintančio kampo matavimai (ARXPS) ir paviršiaus ėsdinimas argono jonais.