Elektroninė litografija yra pažangi technologija, naudojama itin aukštos skyros raštams kurti. Ji veikia nukreipiant ir skenuojant sufokusuotą elektronų pluoštą ant elektronams jautria medžiaga padengto padėklo. Naudojant elektroninę litografiją galima pasiekti precizinę matmenų kontrolę nanometrų skalėje, dėl to ši technologija yra plačiai naudojama pažangiai puslaidininkių ir nanodarinių gamybai. Ji itin vertinama dėl savo universalaus gebėjimo generuoti visiškai laisvai užduodamus, sudėtingus raštus su aukšta skiriamąja geba.
Paslauga atliekama ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
nanogamyba, litografija, eksponavimas, elektroninė litografija (EBL)
Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga