Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Aprašymas:
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Raktažodžiai:
deimanto tipo anglis, DTAD, jonpluoštė sintezė, sluoksnių formavimas, vakuuminiai metodai
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
- Jonų energija 400-1000 eV
- Ribinis vakuumas kameroje: 4E-4 Pa
- DTAD nusodinimo slėgis: 1E-2 - 2E-2 Pa
- Jonų šaltinio greitinanti įtampa: iki 2 kV
- Jonų srovės tankis: 0,05 – 0,25 mA/cm2
- Solenoido srovė: 6A
- Naudojamos dujos: gali būti naudojamos inertiškos bei reaguojančios dujos.
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas