MMI

Magnetronas. Naudojamas tik sumontuotas vakuuminiame įrenginyje (kameroje). 3" skersmens keičiamos magnetinio lauko konfigūracijos magnetronas MAK Flexmou.
Aprašymas:

Magnetronas. Naudojamas tik sumontuotas vakuuminiame įrenginyje (kameroje). 3" skersmens keičiamos magnetinio lauko konfigūracijos magnetronas MAK Flexmou.

Raktažodžiai:
magnetronas, magnetroninis dulkinimas, nesubalansuotas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:

Skersmuo 3", galima keisti magnetrono galvutės pasvirimo kampą +/- 45o

Taikymo sritys:
Plonų sluoksnių nusodinimas magnetroninio dulkinimo būdu
Užklausos forma