Plonų sluoksnių ir dangų mikromechaninių savybių tyrimas
Raktažodžiai:
Mikrokietumas, Martens'o kietis, Vickers'o kietis, dinaminis kietumas, dinaminis kietis, Jungo modulis, mechaninės savybės, mechaninių savybių matavimas
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Galimos apkrovos matavimo metuo 0.1 – 2000 mN
medžiagų apibūdinimas ir analizė