Aprašymas:

Reaktyvusis joninis ėsdinimas bei tūrinis mikroformavimas atliekamas su indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginiu PlasmaTherm Apex SLR (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm). Paslauga atliekama ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Aprašymas:

Švariuoju kambariu (angl. cleanroom) vadinama uždarą erdvė, kurioje kontroliuojama aplinkos temperatūra, drėgmė, slėgis ir tam tikro dydžio dalelių koncentracija. Pagal dalelių dydį ir jų koncentraciją patalpoje ISO 14644-1 standartas įvardija 9 švarumo klases. „Santakos“ slėnyje įrengtas švarusis kambarys yra ISO5 klasės. Tokio švariojo kambario kubiniame metre dalelių, kurių skersmuo yra >0,5 mikrometrų, skaičius neviršija 3520. Švariajam kambariui nustatyta prietaisų eksploatavimo, personalo apsauginių ir valymo priemonių naudojimo tvarka ir atliekama nuolatinė visų parametrų kontrolė.

Aprašymas:

Elektroninė litografija yra pažangi technologija, naudojama itin aukštos skyros raštams kurti. Ji veikia nukreipiant ir skenuojant sufokusuotą elektronų pluoštą ant elektronams jautria medžiaga padengto padėklo. Naudojant elektroninę litografiją galima pasiekti precizinę matmenų kontrolę nanometrų skalėje, dėl to ši technologija yra plačiai naudojama pažangiai puslaidininkių ir nanodarinių gamybai. Ji itin vertinama dėl savo universalaus gebėjimo generuoti visiškai laisvai užduodamus, sudėtingus raštus su aukšta skiriamąja geba.

Paslauga atliekama ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Aprašymas:

Bus paruošta techninė užduotis nanomedžiagoms, dangoms arba ploniems sluoksniams. Bus nurodyta kokie turi būti nanomedžiagų, dangų arba plonų parametrai, cheminė sudėtis, struktūra, kad jie tiktų užsakovo pasirinktam taikymui.