Aprašymas:
Pralaidumo, sugerties, atspindžio matavimai UV-VIS-NIR spektriniame diapazone atliekami su šviesolaidiniu spektrometru AvaSpec-2048. Galima analizuoti skysčius standartinėje kiuvetėje, kietus skaidrius (matuojant pralaidumą ir sugertį) arba neskaidrius (matuojant atspindį) bandinius.

Aprašymas:
Sumažinančių atspindžius (antireflekcinių) plėvelių auginimas vakuuminio garinimo, magnetroninio dulkinimo, plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės, jonpluoštės sintezės būdais. Gali būti derinama su padidėjusiu kietumu, atsparumu dilimui, braižymui bei korozijai ir paviršiaus laisvosios energijos kontrole. Padėklo temperatūra: 20-350˚C. Naudojamos dujos: SiH4, NH3, N2, CF4, O2, CHF3, Ar.

Aprašymas:
Matavimai atliekami dinaminės sugerties spektrometru sudarytu iš netiesinio optinio parametrinio stiprintuvo, kuris yra kaupinama Pharos lazeriu ir naudojamas bandinio žadinimui (315-2600 nm bangos ilgiai), vėlinimo linijos, baltos šviesos kontinuumo generuojamo safyro kristale (480-1100 nm bangos ilgiai) bei spektrografo. Didžiausia registruojamas laikų intervalas 1,7 ns. Detektuojamas skirtuminės sugerties signalas 0,05 mOD. Metodas yra tinkamas ultrasparčių procesų tyrimas skaidriuose bandiniuose, dangose bei skysčiuose.

Aprašymas:
Puslaidininkių paviršiaus savybės keičiamos naudojant cheminį skystos fazės tirpalų poveikį arba apšvitą žemos energijos jonais.

Aprašymas:
Pjezovaržinių savybių tyrimas atliekamas automatizuotu įrenginiu, kurio pagrindinės techninės charakteristikos ir jų ribos būtų: spaudimo jėga kinta nuo 0 iki 13 N; matuojama varža nuo 0.1 Ω iki 10 GΩ.

Aprašymas:
Paviršių šiurkštumo matavimu nustatoma mikrogeometrinių paviršiaus nelygumų visuma, kai paviršiaus profilį (reljefą) sudarantys mikronelygumai kartojasi palyginti mažu žingsniu. Paviršių šiurkštumas vertinamas pagal standartus ISO 4287, DIN 4768, daugeliu parametrų.

Aprašymas:
Paslauga skirta metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Optinė sistema su skenuojančiu monochromatoriumi suteikia galimybę kontroliuoti formuojamų dielektrinių dangų optinį storį. Tuo pat metu storis matuojamas ir kvarciniu storio matuokliu. Padėklų temperatūra: 20 – 400oC Vakuumas kameroje: 10-3 Pa

Aprašymas:
Paslauga skirta atlikti dokumentų apsaugai skirtų hologramų originalo užrašymą fotojautrioje medžiagoje suformuojant submikrometrtrinių matmenų kintančio reljefo struktūras (arba kintančio lūžio rodiklio struktūras). Hologramų užrašymas atliekamas naudojant užsakovo pateiktą fizinį objektą (modelį) arba kompiuterinį grafinį vaizdą. Sukomplektuota optinių stalų, optinių-mechaninių elementų, valdiklių, lazerių ir kitų įrenginių visuma sudaro sąlygas atlikti trimačių hologramų, 2D/3D hologramų, paslėpto vaizdo hologramų bei padidinto apsaugos laipsnio kombinuotų hologramų užrašymą. Kombinuotų hologramų užrašymą galima atlikti apjungiant: a) 3D elektroninės nanolitografijos su 2D/3D hologramomis, b) taškų hologramas su 2D/3D hologramomis, c) 2D/3D hologramas su paslėpto vaizdo hologramomis ir kt.

Aprašymas:
Ramano spektroskopija yra gerai pritaikyta įvairiems tyrimams dėl savo universalumo – galima analizuoti daugelį medžiagų: dažus, rašalus, stiklą, brangakmenius, mineralus, lakus, bio pavyzdžius ir kitas medžiagas. Ramano analizė atliekama tiesiogiai pastačius tiriamus mėginius ar objektus po mikroskopu. Sistema yra valdoma patogios programinės įrangos, kuri leidžia paprastai valdyti spektrometrą, įrašyti, analizuoti, apdoroti ir pateikti spektrus. Didelė spektrų biblioteka leidžia greitai atpažinti tiriamas medžiagas.

Aprašymas:
Užtvarinių metalo ir puslaidininkio (Schottky) kontaktų formavimas vakuuminio garinimo arba magnetroninio dulkinimo būdais. Galima III-V puslaidininkių Schottky kontakto potencialinio barjero aukščio kontrolė. GaAs ominių kontaktų formavimas derinant AuGe sluoksnių auginimą ir atkaitinimą. Al-GaAs ominių kontaktų formavimas.

Aprašymas:

Kurti ir analizuoti medžiagas bei jų savybes, vystyti gebėjimą dirbti precizine technologine ir analitine  įranga, užtikrinančia aukštųjų technologijų specialistų rengimą ir šiuolaikinių mokslinių taikomųjų tyrimų plėtrą. Pravesti studentams laboratorinius darbus ir  mokymus verslo atstovams.

Aprašymas:

Švariuoju kambariu (angl. cleanroom) vadinama uždarą erdvė, kurioje kontroliuojama aplinkos temperatūra, drėgmė, slėgis ir tam tikro dydžio dalelių koncentracija. Pagal dalelių dydį ir jų koncentraciją patalpoje ISO 14644-1 standartas įvardija 9 švarumo klases. „Santakos“ slėnyje įrengtas švarusis kambarys yra ISO5 klasės. Tokio švariojo kambario kubiniame metre dalelių, kurių skersmuo yra >0,5 mikrometrų, skaičius neviršija 3520. Švariajam kambariui nustatyta prietaisų eksploatavimo, personalo apsauginių ir valymo priemonių naudojimo tvarka ir atliekama nuolatinė visų parametrų kontrolė.

Aprašymas:

Produktų, medžiagų medžiagotyrinės kilmės analizė fizikiniais-cheminiais metodais. Medžiagų rekonstravimas ir savybių (cheminių, mechaninių, fizikinių) vertinimas (analitiniai – technologiniai procesai). Metalų ir metalų oksidų nanodalelių sintezė; porėto anodinio aliumininio oksido membranų formavimas; nanometrinių matmenų porėto silicio formavimas; polimerinių nanokmpozitų, pasižyminčių plazmoniniu efektu,pjezo efektu ir kitomis funkcinėmis savybėmis kūrimas. Gali būti atliktas nanostruktūrinių medžiagų suformavimas, padengimas, užnešimas ant objektų.

Aprašymas:

Elektroninė litografija yra pažangi technologija, naudojama itin aukštos skyros raštams kurti. Ji veikia nukreipiant ir skenuojant sufokusuotą elektronų pluoštą ant elektronams jautria medžiaga padengto padėklo. Naudojant elektroninę litografiją galima pasiekti precizinę matmenų kontrolę nanometrų skalėje, dėl to ši technologija yra plačiai naudojama pažangiai puslaidininkių ir nanodarinių gamybai. Ji itin vertinama dėl savo universalaus gebėjimo generuoti visiškai laisvai užduodamus, sudėtingus raštus su aukšta skiriamąja geba.

Paslauga atliekama ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Aprašymas:

Mikro ir nano reljefui antrinti dideliuose, įvairios prigimtie polimerų paviršiuose naudojamos metalinės (labiausiai paplitusios Ni) spaudos formos. Joms pagaminti naudojama elektrocheminė Ni nusodinimo technologija.

Aprašymas:

MEMS gali būti kuriamas, naudojant įvairias medžiagas ir gamybos technologijas, kurių pasirinkimas priklausys nuo prietaiso funkcijos ir aplinkos, kurioje jis turi veikti. MEMS paprastai susideda iš centrinio bloko, kuriame apdorojami duomenys, mikroprocesoriaus ir keleto sąveikaujančių su išore komponentų, pvz., mikrojutiklių. MEMS dydis svyruoja nuo 1 mm iki 1 um, o jis kuriamas, taikant mikro/nanolitografijos, plonų plėvelių nusodinimo ir ėsdinimo procesus.

Aprašymas:

FEI įmonės šiuolaikinis skenuojantis elektroninis mikroskopas Quanta 200 FEG, yra vienas iš pagrindinių nano technologijų įrankių, t.y. nano struktūrų ir nano prietaisų, paviršiaus vaizdinimo priemonė. Tai daugeliu atveju nepamainoma mikroskopijos priemonė, nes ji užtikrina didelį fokuso gylį, ledžia bandinio paviršių vaizdinti plačiame didinimų diapazone nuo keliasdešimt kartų iki šimtų tūkstančių kartų. Tai sąlyginai greitas tyrimo metodas, nes bandinio įdėjimas/išėmimas užtrunka porą minučių, o vieno vaizdo skenavimas gali trukti nuo pusės minutės iki keletos minučių, priklausomai nuo pasirinktos skyros. Mikroskope naudojamas modernus lauko emisijos elektronų šaltinis bei speciali vakuuminė sistema, leidžianti dirbti kontroliuojamo slėgio vandens garų atmosferoje, todėl šiuo mikroskopu galima tirti elektriškai nelaidžių bandinių paviršius su aukšta 1,2 nm erdvine skiriamąja geba. Jame yra įmontuotas naujos kartos rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometras. 

Aprašymas:

Optinės mikroskopijos paslauga siūlo medžiagų morfologinį paviršiaus charakterizavimą, naudojant įvairias vaizdinimo metodikas, tokias kaip šviesaus lauko, tamsaus lauko, diferencinio interferencinio kontrasto (DIC), fluorescencijos mikroskopiijos režimus. Galimi epi-apšvietimo (atspindžio) ir pralaidumo apšvietimo būdai, užtikrinantys galimybes visapusiškam bandinių vaizdinimui ir analizei. Fluorescencinė mikroskopija leidžia aptikti ir tyrinėti fluorescencinius žymenis ir medžiagas. Tikslios temperatūros kotrolės reikalaujantiems eksperimentams galima pasinaudoti valdomos temperatūros bandinių laikikliu.

Aprašymas:

Paviršiaus cheminės sudėties tyrimas, taikant rentgeno fotoelektronų spektroskopiją (XPS), jonų sklaidos spektroskopiją (ISS), atspindėtų elektronų prarastos energijos spektroskopiją (REELS) bei UV fotoelektronų spindulių spektroskopiją (UPS), Ože elektronų spektroskopiją. 

Aprašymas:

Dielektrinių medžiagų, plonų plėvelių elektrinių savybių tyrimai bei kuro elementų komponentų testavimas atliekami impendanso analizatoriumi ALPHA-AK (dažnis nuo 3 µHz iki 3 MHz. 2-3 elektrodų sistema; fazė: 0,001 °; bandinių diametras 16 mm; dvi "in-plane" ir "through-plane" matavimo konfigūracijos).

Aprašymas:

Infraraudonoji (IR) spektroskopija yra galingas analitinis įrankis molekulių ir mišinių charakterizavimui ir vibracinių spektrų identifikavimui. Pavyzdžiui, organinio junginio IR spektras teikia specifinę informaciją apie molekulių struktūrą ir cheminius ryšius. Naudojant atspindžio režimą (ATR), plonas plėveles galima tirti tiesiogiai paviršiuje.Mes naudojame IR, siekdami tiksliai nustatyti užterštumo organiniais teršalais lygį įvairiuose bandiniuose. Naudojama polimerų ir plastikų organinei analizei, skysčių, kietųjų medžiagų ir dujų analizei, nelaidžių medžiagų analizei ir molekulių specifiniam identifikavimui, įskaitant biomedicinos, puslaidininkių, elektronikos, lazerių ir optikos pramonės produktų bandinius.

Aprašymas:

Femtosekundine lazerinio mikro/nano apdirbimo sistema FemtoLab, kurioje naudojamas Yb:KGW lazeris Pharos 1030 nm, 4 W, <300 fs, abliacija atliekama, naudojant fundamentinį bangos ilgį arba aukštesnes harmonikas (2H 515 nm, 3H 343 nm). Galimos trys abliavimos modos: 

• abliavimas fokusuotu lazerio pluoštu, transliuojant bandinį (padėties atsikartojamumas 100 nm, raiška iki 1 um, bangos ilgiai: 1030 nm, 515 nm, 343 nm); 
• abliavimas plokščių ir lenktų paviršių, naudojant galvoskenerį (raiška iki 20 um, bangos ilgis 1030 nm); 
• abliacija valdomo periodo interferenciniu raštu (periodas 0.8-1.1 um, valdoma orientacija, bangos ilgis 515 nm). 

Sistema valdoma programa SCA, kuria norimą abliuoti struktūrą galima aprašyti komandų eilute, įkelti kaip rastrinį piešinį arba naudoti vieną iš daugelio suderinamų vektorinės grafikos bylų duomenų tipų. Abliaciją fokusuotu pluoštu bei interferenciniu lauku galima atlikti iki 3 mm storio bandiniuose, plotas iki ~10x10 cm2. Abliaciją galvoskeneriu galima atlikti iš principo ir ant keliu centimetrų storio bandinio paviršiaus, plotas iki ~7x7 cm. Abliuojant ant lenkto paviršiaus bandiniai (įvairaus diametro strypai) tvirtinami griebtuve, vidinis diametras ~2-4 cm, išorinis ~0-2 cm.

Aprašymas:

Plonų sluoksnių formavimas ir džiovinimas ant įvairių padėklų.

Aprašymas:

Paslauga yra skirta jonpluoštės sintezės arba plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės būdu auginti deimanto tipo anglies dangas (DTAD) iš angliavandenilių ir legiravimo medžiagų. Deimanto tipo anglis tai amorfinė anglies atmaina, kurios savybės gali būti keičiamos nuo tipiškų deimantui iki tipiškų grafitui. DTAD pasižymi dideliu kietumu, atsparumu dilimui bei korozijai, mažu trinties koeficientu, biosuderinamumu. Elektrinės ir optinės DTAD savybės gali būti keičiamos plačiose ribose. DTAD stebimas stiprus pjezobvaržinis efektas.

Aprašymas:

Visų skenuojančių zondinių mikroskopų (SZM) veikimo principas – paviršiaus skenavimas plonu zondu, kuris tam tikru būdu (priklausomai nuo mikroskopo tipo) sąveikauja su paviršiumi. SZM leidžia stebėti trimačius vaizdus plačiame diapazone, apimančiame tradicines optinio ir elektroninio mikroskopų veikimo sritis. AJM (atominių jėgų mikroskopo) veikimas pagrįstas atominių ryšio jėgų veikimu tarp paviršiaus ir zondo smaigalio atomų. Šiuo metodu yra galimybė mikro-, nano- metriniame lygmenyje įvertinti ir aprašyti matematiniais statistiniais parametrais paviršiaus morfologiją bei atlikti lateralinių, elektrinių, Kelvino jėgų mikroskopiją, vaizdinimą, įvertinti lokalias mechanines savybes, atlikti nanotechnologinius procesus.

Aprašymas:

Paslauga atliekama su lazeriniu elipsometru, kuris naudojamas plonų dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių storio ir lūžio rodiklio nustatymui. Lazerinė elipsometrija pagrįsta nuo bandinio atspindėtos monochromatinės poliarizuotos šviesos poliarizacijos parametrų analize. Lazerio spindulio bangos ilgis - 632.8 nm. Plėvelių storis 0.001 - 1 µm. Storio matavimų neapibrėžtis - ±(0.5 - 1) nm. Lūžio rodiklio matavimo neapibrėžtis ±0.01.

Aprašymas:

Įrenginys skirtas mono- bei daugiamolekulinių organinių plėvelių formavimui ant kietų paviršių Langmuir-Blodgett (LB) metodu. Vonelės parametrai: Laisvojo paviršiaus plotas – 400 cm2 Darbinis paviršius – 318 cm2 Skysčio tūris – 1000-1050 cm3 Paviršinio slėgio matuoklis – Vilhelmi plokštelė (paklaida 0,1 mN/m) Šulinio matmenys: gylis – 75 mm, skersmuo – 60 mm.

Aprašymas:

Plonų sluoksnių ir dangų mikromechaninių savybių tyrimas atliekamas su dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S (galimos apkrovos matavimo metuo 0.1 – 2000 mN).

Rockvel`o kietumo matavimas atliekamas su Rokvelo kietumo matavimo prietaisu (apkrovos 15, 30, 45 kg).

Aprašymas:

Šis tyrimas susideda iš tokių atliekamų elektrinių matavimų nurodytų diapazonų ribose: 

1. dangų paviršiaus varžos matavimas (nuo 0.1Ω/□ iki 10 kΩ/□);
2. srovės, varžos, V_A charakteristikų matavimas (10fA..20mA, 1 mV...505V)

Aprašymas:

Reaktyvusis joninis ėsdinimas bei tūrinis mikroformavimas atliekamas su indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginiu PlasmaTherm Apex SLR (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm). Paslauga atliekama ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Aprašymas:

Naudojant precizinius įrenginius ir nanogalvaninius technologinius procesus yra formuojamas submikrometrinių (nanometrinių) matmenų reljefas plastiko paviršiuje.