MMI

MBE: Epitaksinių sluoksnių auginimo sistema - KRATOS

Aprašymas:

Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS

XPS: Rentgeno fotoelektronų ir Ože elektronų spektroskopijos sistema - KRATOS XSAM800

Aprašymas:

Paviršiaus tyrimas Rentgeno fotoelektronų ir Ože elektronų spektroskopijomis,  medžiagų  elementinės sudėties tyrimai, cheminių rųšių tarp elementų tyrimai, paviršiaus ėsdinimas argono jonais, tiesioginė sąsaja vakume su GaAs sluoksnių auginimo sistema 

SEM: Skenuojantis elektroninis mikroskopas - FEI Quanta 200 FEG

Aprašymas:

Skenuojantis elektroninis mikroskopas FEI Quanta 200 FEG yra modernus įrenginys, skirtas aukštos raiškos paviršiaus tyrimams. Jis naudoja lauko emisijos šaltinį (FEG), leidžiantį pasiekti didelį didinimą ir detalią vaizdo kokybę. Mikroskopas gali veikti trijose slėgio aplinkose: aukšto vakuumo, žemo vakuumo ir labai žemo vakuumo režimuose, todėl tinka įvairiems mėginiams, įskaitant nelaidžius. Quanta 200 FEG naudojamas medžiagų moksle, biologijoje, nanotechnologijose ir kituose moksliniuose tyrimuose, kur svarbu detali struktūrų analizė.

XPS: Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema - ThermoFisher ESCALAB 250Xi

Aprašymas:

Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema. Medžiagų  elementinės sudėties tyrimai, cheminių rųšių tarp elementų tyrimai taikant: Rentgeno fotoelektronų spektroskopija (XPS); jonų sklaidos spektroskopija (ISS); atspindėtų elektronų prarastos energijos spektroskopija (REELS);  UV fotoelektronų spindulių spektroskopija (UPS); kintančio kampo matavimai (ARXPS) ir paviršiaus ėsdinimas argono jonais. 

EBL: Elektroninės litografijos įrenginys - Raith e-Line Plus

Aprašymas:

Raith e-Line Plus yra pažangi elektroninės litografijos sistema, skirta didelio tikslumo nanogamybai ir nanoraštų formavimui. Tai yra lankstus įrenginys, turintis aukštos raiškos elektronų pluošto koloną, galintis formuoti >10 nm nanostruktūras. Raith e-Line Plus turi draugišką vartotojo sąsają ir nesudėtingą programinį valdymą, kas padeda efektyviai ir tiksliai paversti suprojektuotus raštus realybe. Ši sistema taip pat gali veikti kaip skenuojantis elektroninis mikroskopas (SEM) bei gali atlikti paviršių cheminę analizę (EDX), pažymint elementus nuo Be iki Am.

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

XRD: Automatinis rentgeno spindulių difraktometras - Bruker D8 DISCOVER

Aprašymas:

Plonasluoksnių bandinių, didelės skiriamosios gebos, automatinis rentgeno spindulių difraktometras kartu su valdymo, matavimo ir duomenų apdorojimo programine įranga yra tinkamas visų tipų kietoms medžiagoms tirti.

Kokybinei ir kiekybinei cheminių junginių analizei; Ab-initio cheminių junginių kristalų struktūrai nustatyti ir patikslinti; Medžiagų mikrostruktūros analizei (kristalitų dydžiams, mikro įtempiams; kristališkumo laipsniui nustatyti); Rentgeno difrakciniams matavimams esant slystančio kampo fokusuotei (GID); Mikro difrakciniams matavimams; Reflektometrijai mažoje ir didelėje skiriamojoje geboje

Reikalavimai bandiniams: ≥ 100 mg miltelių arba ≥ 10 mm × 10 mm pagrindas; dangos storis 5 – 1000 nm.

Galvanoplastinis įrenginys

Aprašymas:

Galvanoplastinis įrenginys skirtas gaminti Ni spaudimo  matricas užtikrinant submikrometrinių (nanometrinių) matmenų objektų atkartojamumą bei aukštą galutinio produkto difrakcijos efektyvumą

Lazerinis elipsometras - Gaertner L115

Aprašymas:

Lazerinis elipsometras yra tikslus optinis prietaisas, naudojamas plonų plėvelių storiui ir optinėms savybėms matuoti. Jame naudojama poliarizuota lazerio šviesa, kuriai atsispindėjus nuo bandinio analizuojami poliarizacijos būsenos pokyčiai. Taip nustatomas lūžio rodiklio ir plėvelės storis. Šis neardantis metodas plačiai naudojamas medžiagų moksle, puslaidininkių gamyboje.

Pikoampermetras / įtampos šaltinis - Keithley 6487

Aprašymas:

Voltamperinių charakteristikų matavimas, elektroninių, mikroelektroninių ir optoelektroninių prietaisų elektrinių charakteristikų tyrimas

LIoyd'o veidrodžio holografinės litografijos sistema

Aprašymas:

Optinių traktų rinkinys automatizuotai LIoyd`o veidrodžio holografinei sistemai

Dviejų komponentų dozatorius - Dopag Micro Mix E

Aprašymas:

Įrenginys naudojamas polidimetilsiloksano monomero ir jo kietikliui sumaišyti iš anksto nustatytu santykiu 10:1. Naudojamos vienkartinės statinės maišyklės, sumaišančios ir dozuojančios mišinį, paruoštą naudojimui, 

Impendanso analizatorius - Novocontrol Alpha-AK

Aprašymas:

Impendanso analizatorius ALPHA-AK ir jo priedai skirtas dielektrinių medžiagų, plonų plėvelių elektrinių savybių tyrimui, kuro elementų komponentų testavimui

Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema

Aprašymas:

Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema

FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras - Bruker Vertex 70

Aprašymas:

Molekulių ir mišinių charakterizavimas, vibracinių spektrų identifikavimas. Galima atlikti plonų plėvelių, miltelių, skysto būvio medžiagų tyrimus

CAPA: Kapiliarinio mikro- ir nanodalelių nusodinimo įrenginys

Aprašymas:

Mikro ir nanodalelių iš koloidinio tirpalo tvarkingas užnešimas ant trafareto naudojantis kapiliarinėmis jėgomis. Proceso vaizdinimas optiniu mikroskopu su tamsaus lauko interferencinio kontrasto funkcija.

Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema - Fischerscope HM 2000S

Aprašymas:

Plonų sluoksnių ir dangų mikromechaninių savybių tyrimas

RIE/PECVD: Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys - PK-2430

Aprašymas:

Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430. Paviršinio mikroformavimo procesai, reaktyvusis joninis dielektrikų (kvarcas, SiO2, Si3N4) ėsdinimas

Ruloninis įrenginys klijų sluoksnio formavimui - MSM-1

Aprašymas:

Gaminti optines dokumentų ir intelektualinės nuosavybės apsaugos priemones su mikrodifrakciniais elementais. Klijų sluoksnio formavimas ant silikoninio popieriaus, daugiasluoksnės polimerinės plėvelės. 

Optinis ir fluorescencinis mikroskopai - OPTIKA B-600 MET ir OPTIKA B-353FL

Aprašymas:

Įvairių medžiagų paviršiaus tyrimas ir mikrometriniai matavimai,  fluorescencijos tyrimai

Ramano sklaidos spektrometras - Renishaw inVia

Aprašymas:

Įrangos kompleksas su konfokaline mikro- Raman optine sistema skirtas Ramano sklaidos spektrų registravimui. Ramano sklaidos spektroskopija gali būti naudojama plonų sluoksnių, miltelių ir vandeninių tirpalų tyrimui. Galima identifikuoti tiriamas medžiagas naudojantis spektrų biblioteka. Atliekami įvairių anglies alotropijų matavimai (deimanto tipo anglis, grafenas, grafeno oksidas), organinių ir neorganinių medžiagų tyrimai, paviršiuje stiprinamos Ramano sklaidos matavimai naudojant sidabro ar aukso nanodaleles. 

Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700

Aprašymas:

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Vakuuminio garinimo įrenginys - YBH-71D3

Aprašymas:

Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3

Taškinės holografinės litografijos įrenginys

Aprašymas:

Taškų hologramų originalų formavimas fotorezisto sluoksnyje.

Šviesolaidinis spektrometras - Avantes AvaSpec-2048

Aprašymas:

Pralaidumo, sugerties, atspindžio matavimai UV-VIS-NIR spektriniame diapazone. Galima analizuoti skysčius standartinėje kiuvetėje, kietus skaidrius (matuojant pralaidumą ir sugertį) arba neskaidrius (matuojant atspindį) bandinius

Saulės spektro simuliatorius

Aprašymas:

Saulės spektro simuliatorius

Langmuir-Blodgett vonelė

Aprašymas:

Langmuir-Blodgett vonelė su elektroniniu valdymo bloku ir kompiuteriu. Įrenginys skirtas (Π-A) izotermių gavimui ir mono- bei daugiamolekulinių organinių struktūrų formavimui ant kietų paviršių Langmuir-Blodgett (LB) metodu.

Druskos purškimo korozijos testo kamera - 60A

Aprašymas:

Druskos purškimo korozijos testo kamera yra naudojama patikrinti įvairių medžiagų paviršiaus atsparumą korozijai.

Šviesolaidinis spektrometras su šviesos šaltiniu - Avantes AvaSpec-2048 ir AvaLight-DHc

Aprašymas:

Atspindžio pralaidumo ir absorbcijos matavimai UV-VIS spektriniame diapazone, Naudojamas lūžio rodiklio kinetikos matavimų stende.

Indukcinis kaitintuvas metalų lydymui - A523

Aprašymas:

Indukcinis kaitintuvas metalų lydimui 

AJM (AFM): Atominių jėgų mikroskopas - NT-206

Aprašymas:

Atominių jėgų mikroskopas NT-206. Lateralinių, magnetinių jėgų mikroskopija. Statinė/ Dinaminė jėgos spektroskopija. Atominių jėgų mikroskopas (AJM) naudojamas įvairių medžiagų paviršiaus morfologijos tyrimui ir lokalių mechaninių savybių vertinimui nano, mikro - skalėje.

Lazerio galios ir energijos matuoklis - Ophir Nova II

Aprašymas:

Ophir Nova II yra universalus rankinis lazerinės galios / energijos matuoklis.

  • Didelis didelės raiškos LCD ekranas
  • Suderinamas su standartiniais Ophir terminiais, BeamTrack, piroelektriniais ir fotodiodiniais jutikliais
  • Foninis apšvietimas ir įkraunama baterija
  • Programiniai klavišai ir meniu valdomos funkcijos su tiesiogine pagalba
  • Nekintama duomenų saugykla iki 59400 taškų

Blizgumo matuoklis - Elcometer 480

Aprašymas:

Blizgumo matuoklis Elcometer 480, 3 kampų. Išmatuoja ir registruoja blizgesio, atspindžio ir miglotumo parametrus įvairių medžiagų paviršių. Paviršių, įskaitant dažus, plastiką, keramiką ar metalą, blizgesio ir atspindžio vertinimas. Blizgesio, atspindžio procento arba miglotumo matavimai, statistika, rodmenys ir diferencialas su patvirtinimu / nesėkme, tendencijų grafikai ir analoginio nuskaitymo juostos.

Optinis mikroskopas - Nikon Eclipse LV150N

Aprašymas:

Nikon Eclipse LV150N yra metalurginis mikroskopas skirtas paviršių vaizdinimui. Jis veikia epi-apšvietimo režimu ir turi tiek šviesaus, tiek tamsaus lauko funkcijas. Vaizdas gali būti formuojamas 10x okuliarais arba CCD kameroje. Yra poliarizacijos kontrasto galimybė.

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Plonų sluoksnių formavimo sistema - Chemat KW-4A

Aprašymas:

KW-4A yra kompaktiška ir lengvai naudojama plonų sluoksnių formavimo sistema, skirta tiksliai ir tolygiai nusodinti plonas plėveles ir dangas ant paviršių.Dviejų pakopų sukimo procesas leidžia dozuoti medžiagą mažu greičiu ir tolygiai paskleisti dideliu greičiu antrame žingsnyje. KW-4A sistema gali būti naudojama plonoms metalo oksido plėvelėms, polimerinėms dangoms ir metalo organinėms plonoms plėvelėms nusodinti. Šiame gaminyje yra teflonu dengtas nerūdijančio plieno dengimo dubuo.

Terminio garinimo įrenginys - CUBIVAP

Aprašymas:

Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP skirtas plonų Ag sluoksnių formavimui naudojant rezistyvinį garinimą. 

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

ICP RIE: Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys - PlasmaTherm Apex SLR

Aprašymas:

ICP RIE įranga PlasmaTherm Apex SLR naudojama įvairių medžiagų reaktyviajam joniniam ėsdinimui, dažniausiai Si/SiO2. Įrangoje sumontuota fluoru grįstos dujos bei kriogenines temperatūras galintis pasiekti elektrodas, leidžiantis atlikti silicio gilųjų ėsdinimą (DRIE). ICP RIE sistemos turi du nepriklausomus radio dažnio maitinimo šaltinius: vienas valdo talpinės plazmos (CCP) generavimą ir dėl to kylantį priešįtampį; antrasis tiekia elektros energiją ritei, kuri indukciškai generuoja plazmą (ICP) viršutinėje kameros dalyje. Tokia konfigūracija leidžia atskirai valdyti plazmos tankį (ICP) ir jonų energiją (CCP), dėl to galima pasiekti daug didesnį ėsdinimo greitį, nepaaukojant selektyvumo.

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Lazerio pluošto kamera - DataRay WinCamD-LCM

Aprašymas:

DataRay WinCamD-LCM yra lazerinio spindulio profilio analizės įrenginys, skirtas tiksliam lazerio spindulio skersmens, profilio ir intensyvumo pasiskirstymo matavimui. Šis prietaisas turi didelio dinaminio diapazono CMOS jutiklį ir gali tiksliai išmatuoti nuo UV iki IR bangos ilgio spinduliu. Ši kamera taip pat turi intuityvią programinę įrangą, leidžiančią lengvai analizuoti ir vizualizuoti lazerio spindulio savybes.

AJM (AFM): Skenuojančio zondo mikroskopas - JPK NanoWizard 3

Aprašymas:

JPK NanoWizard 3 skenuojančio sondo mikroskopas yra naudojamas paviršiaus topografijos matavimams bei mechaninėms, elektrinėms, magnetinėms savybėms tirti ore ir skysčiuose. Galima tirti kietas, polimerines, biologines medžiagas. Taip pat įmanoma altikti objektų nanomanipuliavimą ir nanolitografiją. Sistema įgalina pažangių medžiagų tyrimus ir padeda kontroliuoti nanoskalėje vykstančių technologinių procesų parametrus.

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Mechaninių paviršių šiurkštumo matuoklis - Time TR200

Aprašymas:

Mechaninių paviršių šiurkštumo matuoklis

Dviejų kanalų elektrinių matavimų sistema su dujų tėkmės valdymu

Aprašymas:

Sistema skirta įvertinti elektrines sąvybes kontroliuojamoje aplinkoje. Sistema susideda iš: i) matavimo kameros Linkam su langeliu optiniams matavimams ar sužadinimui šviesa; ii) reguliuojamos dujų ar garų tėkmės; iii) dviejų kanalų elektrinių parametrų matuoklio Keithley 2604

Sutapdinimo ir nanoįspaudimo litografijos įrenginys - OAI Hybralign 204IR

Aprašymas:

OAI Hybralign Series 204IR yra kaukių sutapdinimo įrenginys, naudojamas lygiagrečiam plokštelių eksponavimui per fotošabloną, taip perkeliant mikrostruktūras į šviesai jautrų sluoksnį. Įrenginys gali naudoti artimo UV ir gilaus UV diapazono šviesą. Taip pat yra galimybė sutapdinti su žymėmis priešingoje plokštelės pusėje. Be to, įrenginyje yra integruotas UV nanoįspaudimo litografijos priedas.

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Universali optinės spektroskopijos ir lazerinio mikroapdirbimo sistema

Aprašymas:

Universali optinės spektroskopijos ir lazerinio mikrofabrikavimo sistema. Fabrikavimui galima naudoti sufokusuotą pirmos (1030 nm), antros (515 nm) ir trecios (343 nm) harmoniką bei antros harmonikos valdomo periodo (0.8-1.3 um) interferenciniu lauku. Spektroskopinės sistemos žadinamo bangis ilgio derinima diapazonas 315-2600 nm, zonduojanžio pluošto spektirnis plotis 480-1100 nm, laikinė skyra 16.67 fs, didžiausias impulsų užlaikymas 1.8 ns, absorbcijos pokyčių detektavimo riba 0,5 mOD

Spektroskopinis elipsometras - Semilab GES5-E

Aprašymas:

Spektroskopinis elipsometras perdengiantis UV-VIS-NIR spektrį diapazoną. Prietaisas tinkamas ir skirtas plonų, izotropiškų ir anizotropiškų, skaidrių ir neskaidrių sluoksnių ant izotropiškų ir anizotropiškų, skaidrių ir neskaidrių pagrindų, optinių konstantų (k(λ), n(λ)) ir storio matavimams. Taip pat tinka periodinių struktūrų linijinių matmenų nustatymui (skaterometrija, angl. scatterometry), absorbcijos kinetikos tirpaluose matavimams.

Centrifuga ir kaitlentė - SPS Polos 200

Aprašymas:

SPS Polos 200 yra naši centrifuga skirta plonų sluoksnių formavimui ant padėklų. Joje galima parinkti sukimo greičius, pagreičius, sukurti atskirus proceso žingsnius. Galima užnešti įvairias medžiagas ant įvairių padėklų, tačiau dažniausiai naudojama litografijos rezisto užnešimui. Komplekte taip pat yra kaitlentė užneštų medžiagų džiovinimui. 

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

3D spausdintuvas - Alfawise W10

Aprašymas:

3D spausdintuvas - Alfawise W10. 3D modelių gaminimas, bandomoji gamyba

EDS: Rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometras - Bruker Quantax

Aprašymas:

Cheminės sudėties nustaytmas, elementų pasiskirstumo žemėlapio sudarymas

Optinis mikroskopas (analizatorius) - Nikon

Aprašymas:

Preciziniai geometriniai linijiniai matavimai praeinačioje šviesoje.

Terminio mikroįspaudimo įrenginys

Aprašymas:

Submikrometrinių (nanometrinių) matmenų reljefo formavimas plastiko paviršiuje. 

Ruloninis terminio mikroįspaudimo įrenginys

Aprašymas:

Halogramų tiražavimo įrenginys gaminti optines dokumentų ir intelektualinės nuosavybės apsaugos priemones su mikrodifrakciniais elementais. Optinių apsaugos ženklų tiražavimas daugiasluoksnėje polimerinėje plėvelėje (juostoje). 

MPCVD: Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema - iplas Cyrannus I-6

Aprašymas:

Kristalinio deimanto, anglies nanovamzdelių, grafeno auginimas