Mikro- ir nanogamyba naudojant sausąjį ėsdinimą
Aprašymas:
Reaktyvusis joninis ėsdinimas bei tūrinis mikroformavimas atliekamas su indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginiu PlasmaTherm Apex SLR (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm). Paslauga atliekama ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
indukcinė plazma (ICP), reaktyvusis joninis ėsdinimas (RIE), joninis ėsdinimas (IBE), nanogamyba
Mokslo kryptis:
Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Technologijos darniam vystymuisi ir energetika