IBE: Joninio ėsdinimo įrenginys - USI-IONIC
Aprašymas:
-
Raktažodžiai:
Ėsdinimas jonų pluošteliu, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, sluoksnių formavimas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm
Taikymo sritys:
mikro- ir nanogamyba
mikro- ir nanogamyba