MMI

MBE: Epitaksinių sluoksnių auginimo sistema - KRATOS
Aprašymas:

Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS

Raktažodžiai:
Epitaksiniai GaAs sluoksniai, sluoksnių formavimas, epitaksija

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga
Techninė specifikacija:
  • 8 kaitinimo talpos
  • 8 kompiteriu valdomos sklendės
  • Bandinių transportavimas vakuume
  • Vakuumas >1E-10 Torr
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas
Užklausos forma