UV lazeris
Raktažodžiai:
Lazeris, UV, holografinė litografija, perdioninės struktūros, difrakcinės gardelės, interferencinė litografija, litografija, vienamtės, dvimatės, trimatės
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
375 nm bangos ilgio 15 mW galios lazeris
holografija ir litografija