Lazerinis elipsometras - Gaertner L115
Aprašymas:
Lazerinis elipsometras yra tikslus optinis prietaisas, naudojamas plonų plėvelių storiui ir optinėms savybėms matuoti. Jame naudojama poliarizuota lazerio šviesa, kuriai atsispindėjus nuo bandinio analizuojami poliarizacijos būsenos pokyčiai. Taip nustatomas lūžio rodiklio ir plėvelės storis. Šis neardantis metodas plačiai naudojamas medžiagų moksle, puslaidininkių gamyboje.
Raktažodžiai:
lazerinis elipsometras, ploni sluoksniai, lūžio rodiklis, optinės savybės
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
- Lazerio spindulio bangos ilgis - 632.8 nm
- Plėvelių storis 0.001 - 1 µm
- Storio matavimų neapibrėžtis - ±(0.5 - 1) nm
- Lūžio rodiklio matavimo neapibrėžtis ±0.01
Taikymo sritys:
medžiagų apibūdinimas ir analizė
medžiagų apibūdinimas ir analizė