Centrifuga ir kaitlentė - SPS Polos 200
Aprašymas:
SPS Polos 200 yra naši centrifuga skirta plonų sluoksnių formavimui ant padėklų. Joje galima parinkti sukimo greičius, pagreičius, sukurti atskirus proceso žingsnius. Galima užnešti įvairias medžiagas ant įvairių padėklų, tačiau dažniausiai naudojama litografijos rezisto užnešimui. Komplekte taip pat yra kaitlentė užneštų medžiagų džiovinimui.
Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
nanogamyba, ploni sluoksniai, užnešimas, fotorezistas, litografija
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
- Sukimosi greitis: <10000 RPM
- Trukmė: 1-999 s
- Padėklo dydis: <150 mm (6")
- Kaitlentės temperatūros intervalas: 50ºC - 250ºC
- Kaitlentės plotas: 230x230 mm2
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba