Sutapdinimo ir nanoįspaudimo litografijos įrenginys - OAI Hybralign 204IR
Aprašymas:
OAI Hybralign Series 204IR yra kaukių sutapdinimo įrenginys, naudojamas lygiagrečiam plokštelių eksponavimui per fotošabloną, taip perkeliant mikrostruktūras į šviesai jautrų sluoksnį. Įrenginys gali naudoti artimo UV ir gilaus UV diapazono šviesą. Taip pat yra galimybė sutapdinti su žymėmis priešingoje plokštelės pusėje. Be to, įrenginyje yra integruotas UV nanoįspaudimo litografijos priedas.
Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
nanogamyba, litografija, fotolitografija, eksponavimas, nanoįspaudimo litografija (NIL)
Mokslo kryptis:
Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
- Minkštas ir kietas kontaktas
- Plokštelės pozicionavimo intervalas:
- X, Y ±10mm
- Z 1,500 μm
- Posūkis ±3.5˚
- Fotošablonų dydžiai: 4", 5"
- Bangos ilgiai:
- UV400: 350-450 nm (NUV)
- UV300: 280-350 nm (NUV)
- UV250: 240-260 nm (DUV)
- Lempos galia: 500 W
- Sklendės laikmatis:
- 0.1 - 99.0 s (0.1 s intervalai)
- 1 - 999 s (1 s intervalai)
Taikymo sritys:
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba