MMI

XRD: Automatinis rentgeno spindulių difraktometras - Bruker D8 DISCOVER

Aprašymas:

Plonasluoksnių bandinių, didelės skiriamosios gebos, automatinis rentgeno spindulių difraktometras kartu su valdymo, matavimo ir duomenų apdorojimo programine įranga yra tinkamas visų tipų kietoms medžiagoms tirti.

Kokybinei ir kiekybinei cheminių junginių analizei; Ab-initio cheminių junginių kristalų struktūrai nustatyti ir patikslinti; Medžiagų mikrostruktūros analizei (kristalitų dydžiams, mikro įtempiams; kristališkumo laipsniui nustatyti); Rentgeno difrakciniams matavimams esant slystančio kampo fokusuotei (GID); Mikro difrakciniams matavimams; Reflektometrijai mažoje ir didelėje skiriamojoje geboje

Reikalavimai bandiniams: ≥ 100 mg miltelių arba ≥ 10 mm × 10 mm pagrindas; dangos storis 5 – 1000 nm.

XPS: Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema - ThermoFisher ESCALAB 250Xi

Aprašymas:

Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema. Medžiagų  elementinės sudėties tyrimai, cheminių rųšių tarp elementų tyrimai taikant: Rentgeno fotoelektronų spektroskopija (XPS); jonų sklaidos spektroskopija (ISS); atspindėtų elektronų prarastos energijos spektroskopija (REELS);  UV fotoelektronų spindulių spektroskopija (UPS); kintančio kampo matavimai (ARXPS) ir paviršiaus ėsdinimas argono jonais. 

SEM: Skenuojantis elektroninis mikroskopas - FEI Quanta 200 FEG

Aprašymas:

Skenuojantis elektroninis mikroskopas QUANTA200FEG

XPS: Rentgeno fotoelektronų ir Ože elektronų spektroskopijos sistema - KRATOS XSAM800

Aprašymas:

Paviršiaus tyrimas Rentgeno fotoelektronų ir Ože elektronų spektroskopijomis,  medžiagų  elementinės sudėties tyrimai, cheminių rųšių tarp elementų tyrimai, paviršiaus ėsdinimas argono jonais, tiesioginė sąsaja vakume su GaAs sluoksnių auginimo sistema 

MBE: Epitaksinių sluoksnių auginimo sistema - KRATOS

Aprašymas:

Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS

MPCVD: Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema - iplas

Aprašymas:

Kristalinio deimanto, anglies nanovamzdelių, grafeno auginimas

Galvanoplastinis įrenginys

Aprašymas:

Galvanoplastinis įrenginys skirtas gaminti Ni spaudimo  matricas užtikrinant submikrometrinių (nanometrinių) matmenų objektų atkartojamumą bei aukštą galutinio produkto difrakcijos efektyvumą

Centrifuga ir kaitlentė - SPS Polos 200

Aprašymas:

SPS Polos 200 yra naši centrifuga skirta plonų sluoksnių formavimui ant padėklų. Joje galima parinkti sukimo greičius, pagreičius, sukurti atskirus proceso žingsnius. Galima užnešti įvairias medžiagas ant įvairių padėklų, tačiau dažniausiai naudojama litografijos rezisto užnešimui. Komplekte taip pat yra kaitlentė užneštų medžiagų džiovinimui. 

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Pikoampermetras / įtampos šaltinis - Keithley 6487

Aprašymas:

Voltamperinių charakteristikų matavimas, elektroninių, mikroelektroninių ir optoelektroninių prietaisų elektrinių charakteristikų tyrimas

LIoyd'o veidrodžio holografinės litografijos sistema

Aprašymas:

Optinių traktų rinkinys automatizuotai LIoyd`o veidrodžio holografinei sistemai

Dviejų komponentų dozatorius - Dopag Micro Mix E

Aprašymas:

Įrenginys naudojamas polidimetilsiloksano monomero ir jo kietikliui sumaišyti iš anksto nustatytu santykiu 10:1. Naudojamos vienkartinės statinės maišyklės, sumaišančios ir dozuojančios mišinį, paruoštą naudojimui, 

Impendanso analizatorius - Novocontrol Alpha-AK

Aprašymas:

Impendanso analizatorius ALPHA-AK ir jo priedai skirtas dielektrinių medžiagų, plonų plėvelių elektrinių savybių tyrimui, kuro elementų komponentų testavimui

Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema

Aprašymas:

Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema

FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras - Bruker Vertex 70

Aprašymas:

Molekulių ir mišinių charakterizavimas, vibracinių spektrų identifikavimas. Galima atlikti plonų plėvelių, miltelių, skysto būvio medžiagų tyrimus

CAPA: Kapiliarinio mikro- ir nanodalelių nusodinimo įrenginys

Aprašymas:

Mikro ir nanodalelių iš koloidinio tirpalo tvarkingas užnešimas ant trafareto naudojantis kapiliarinėmis jėgomis. Proceso vaizdinimas optiniu mikroskopu su tamsaus lauko interferencinio kontrasto funkcija.

Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema - Fischerscope HM 2000S

Aprašymas:

Plonų sluoksnių ir dangų mikromechaninių savybių tyrimas

RIE/PECVD: Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys - PK-2430

Aprašymas:

Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys PK-2430. Paviršinio mikroformavimo procesai, reaktyvusis joninis dielektrikų (kvarcas, SiO2, Si3N4) ėsdinimas

Ruloninis įrenginys klijų sluoksnio formavimui - MSM-1

Aprašymas:

Gaminti optines dokumentų ir intelektualinės nuosavybės apsaugos priemones su mikrodifrakciniais elementais. Klijų sluoksnio formavimas ant silikoninio popieriaus, daugiasluoksnės polimerinės plėvelės. 

Optinis ir fluorescencinis mikroskopai - OPTIKA B-600 MET ir OPTIKA B-353FL

Aprašymas:

Įvairių medžiagų paviršiaus tyrimas ir mikrometriniai matavimai,  fluorescencijos tyrimai

Ramano sklaidos spektrometras - Renishaw inVia

Aprašymas:

Įrangos kompleksas su konfokaline mikro- Raman optine sistema skirtas Ramano sklaidos spektrų registravimui. Ramano sklaidos spektroskopija gali būti naudojama plonų sluoksnių, miltelių ir vandeninių tirpalų tyrimui. Galima identifikuoti tiriamas medžiagas naudojantis spektrų biblioteka. Atliekami įvairių anglies alotropijų matavimai (deimanto tipo anglis, grafenas, grafeno oksidas), organinių ir neorganinių medžiagų tyrimai, paviršiuje stiprinamos Ramano sklaidos matavimai naudojant sidabro ar aukso nanodaleles. 

Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700

Aprašymas:

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

Vakuuminio garinimo įrenginys - YBH-71D3

Aprašymas:

Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3

Vilgumo kampo matuoklis - Kruss DSA25

Aprašymas:

hidrofilinių, hidrofobinių savybių statinis ir dinaminis vertinimas

Taškinės holografinės litografijos įrenginys

Aprašymas:

Taškų hologramų originalų formavimas fotorezisto sluoksnyje.

Šviesolaidinis spektrometras - Avantes AvaSpec-2048

Aprašymas:

Pralaidumo, sugerties, atspindžio matavimai UV-VIS-NIR spektriniame diapazone. Galima analizuoti skysčius standartinėje kiuvetėje, kietus skaidrius (matuojant pralaidumą ir sugertį) arba neskaidrius (matuojant atspindį) bandinius

Saulės spektro simuliatorius

Aprašymas:

Saulės spektro simuliatorius

Langmuir-Blodgett vonelė

Aprašymas:

Langmuir-Blodgett vonelė su elektroniniu valdymo bloku ir kompiuteriu. Įrenginys skirtas (Π-A) izotermių gavimui ir mono- bei daugiamolekulinių organinių struktūrų formavimui ant kietų paviršių Langmuir-Blodgett (LB) metodu.

AJM (AFM): Atominių jėgų mikroskopas - NT-206

Aprašymas:

Atominių jėgų mikroskopas NT-206. Lateralinių, magnetinių jėgų mikroskopija. Statinė/ Dinaminė jėgos spektroskopija. Atominių jėgų mikroskopas (AJM) naudojamas įvairių medžiagų paviršiaus morfologijos tyrimui ir lokalių mechaninių savybių vertinimui nano, mikro - skalėje.

Centrifuga - Colo LACE16

Aprašymas:

Centrifuga fazinei separacijai

Rotacinis garintuvas - Scilogex RE100-Pro

Aprašymas:

Tiriamosiose laboratorijose bei chemijos pramonėje rotaciniai garintuvai naudojami efektyviam tirpiklių išgarinimui ir regeneravimui švelniomis sąlygomis. Aukštas šių garintuvų našumas išgaunamas žemo slėgio ir kolbos sukimo dėka. Kolbos sukimasis dirbtinai padidina garuojančio skysčio paviršiaus plotą ir nuslopina kunkuliavimą, tuo tarpu žemas slėgis ženkliai sumažina skysčio virimo temperatūrą. Rotaciniame garintuve įdiegta automatinė kėlimo sistema bei skaitmeniniai proceso valdikliai.

Infraraudonųjų spindulių termometras - UNI-T UT302D+

Aprašymas:

Infraraudonųjų spindulių termometras bekontakčiam temperatūros matavimui

Keturių zondų matavimo sistema

Aprašymas:

Keturių zondų matavimo sistema specifinės paviršinės varžos ir elektrinio laidumo matavimui

Blizgumo matuoklis - Elcometer 480

Aprašymas:

Blizgumo matuoklis Elcometer 480, 3 kampų. Išmatuoja ir registruoja blizgesio, atspindžio ir miglotumo parametrus įvairių medžiagų paviršių. Paviršių, įskaitant dažus, plastiką, keramiką ar metalą, blizgesio ir atspindžio vertinimas. Blizgesio, atspindžio procento arba miglotumo matavimai, statistika, rodmenys ir diferencialas su patvirtinimu / nesėkme, tendencijų grafikai ir analoginio nuskaitymo juostos.

Plonų sluoksnių formavimo sistema - Chemat KW-4A

Aprašymas:

KW-4A yra kompaktiška ir lengvai naudojama plonų sluoksnių formavimo sistema, skirta tiksliai ir tolygiai nusodinti plonas plėveles ir dangas ant paviršių.Dviejų pakopų sukimo procesas leidžia dozuoti medžiagą mažu greičiu ir tolygiai paskleisti dideliu greičiu antrame žingsnyje. KW-4A sistema gali būti naudojama plonoms metalo oksido plėvelėms, polimerinėms dangoms ir metalo organinėms plonoms plėvelėms nusodinti. Šiame gaminyje yra teflonu dengtas nerūdijančio plieno dengimo dubuo.

Lazerio pluošto kamera - DataRay WinCamD-LCM

Aprašymas:

DataRay WinCamD-LCM yra lazerinio spindulio profilio analizės įrenginys, skirtas tiksliam lazerio spindulio skersmens, profilio ir intensyvumo pasiskirstymo matavimui. Šis prietaisas turi didelio dinaminio diapazono CMOS jutiklį ir gali tiksliai išmatuoti nuo UV iki IR bangos ilgio spinduliu. Ši kamera taip pat turi intuityvią programinę įrangą, leidžiančią lengvai analizuoti ir vizualizuoti lazerio spindulio savybes.

Mechaninių paviršių šiurkštumo matuoklis -

Aprašymas:

Mechaninių paviršių šiurkštumo matuoklis

Universali optinės spektroskopijos ir lazerinio mikroapdirbimo sistema

Aprašymas:

Universali optinės spektroskopijos ir lazerinio mikrofabrikavimo sistema. Fabrikavimui galima naudoti sufokusuotą pirmos (1030 nm), antros (515 nm) ir trecios (343 nm) harmoniką bei antros harmonikos valdomo periodo (0.8-1.3 um) interferenciniu lauku. Spektroskopinės sistemos žadinamo bangis ilgio derinima diapazonas 315-2600 nm, zonduojanžio pluošto spektirnis plotis 480-1100 nm, laikinė skyra 16.67 fs, didžiausias impulsų užlaikymas 1.8 ns, absorbcijos pokyčių detektavimo riba 0,5 mOD

Spektroskopinis elipsometras - Semilab GES5-E

Aprašymas:

Spektroskopinis elipsometras perdengiantis UV-VIS-NIR spektrį diapazoną. Prietaisas tinkamas ir skirtas plonų, izotropiškų ir anizotropiškų, skaidrių ir neskaidrių sluoksnių ant izotropiškų ir anizotropiškų, skaidrių ir neskaidrių pagrindų, optinių konstantų (k(λ), n(λ)) ir storio matavimams. Taip pat tinka periodinių struktūrų linijinių matmenų nustatymui (skaterometrija, angl. scatterometry), absorbcijos kinetikos tirpaluose matavimams.

Šviesolaidinis spektrometras su šviesos šaltiniu - Avantes AvaSpec-2048 ir AvaLight-DHc

Aprašymas:

Atspindžio pralaidumo ir absorbcijos matavimai UV-VIS spektriniame diapazone, Naudojamas lūžio rodiklio kinetikos matavimų stende.

AJM (AFM): Skenuojančio zondo mikroskopas - JPK NanoWizard 3

Aprašymas:

JPK NanoWizard 3 skenuojančio sondo mikroskopas yra naudojamas paviršiaus topografijos matavimams bei mechaninėms, elektrinėms, magnetinėms savybėms tirti ore ir skysčiuose. Galima tirti kietas, polimerines, biologines medžiagas. Taip pat įmanoma altikti objektų nanomanipuliavimą ir nanolitografiją. Sistema įgalina pažangių medžiagų tyrimus ir padeda kontroliuoti nanoskalėje vykstančių technologinių procesų parametrus.

Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.

EDS: Rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometras - Bruker Quantax

Aprašymas:

Cheminės sudėties nustaytmas, elementų pasiskirstumo žemėlapio sudarymas

Optinis mikroskopas (analizatorius) - Nikon

Aprašymas:

Preciziniai geometriniai linijiniai matavimai praeinačioje šviesoje.

Terminio mikroįspaudimo įrenginys

Aprašymas:

Submikrometrinių (nanometrinių) matmenų reljefo formavimas plastiko paviršiuje. 

Ruloninis terminio mikroįspaudimo įrenginys

Aprašymas:

Halogramų tiražavimo įrenginys gaminti optines dokumentų ir intelektualinės nuosavybės apsaugos priemones su mikrodifrakciniais elementais. Optinių apsaugos ženklų tiražavimas daugiasluoksnėje polimerinėje plėvelėje (juostoje).