Terminio garinimo įrenginys - CUBIVAP
Aprašymas:
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP skirtas plonų Ag sluoksnių formavimui naudojant rezistyvinį garinimą.
Raktažodžiai:
nanogamyba,ploni sluoksniai,vakuuminis nusodinimas,rezistyvinis garinimas,nanofabrication,thin film,vacuum deposition,resistive evaporation
Mokslo kryptis:
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
- Bazinis slėgis:
Trumpas paslaugos aprašymas:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba