Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3
Raktažodžiai:
vacuum evaporation,vakuuminis garinimas,ploni sluoksniai,metalo plėvelės,auginimas,nusodinimas,GaAs ominis kontaktas,sluoksnių formavimas,vakuuminiai metodai
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Elektronų patrankos galia iki 5 kW
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba