MGMF
Ieškoti

Mikrotechnologijų fizikinių pagrindų laboratorija - 238
Aprašymas: Darbai skirti įgyti žinių apie šiuolaikines mikrotechnologijas, išmokti naudotis technologiniais įrenginiais ir matuoti suformuotų mikrostruktūrų elektrofizines charakteristikas. Darbai skirti T171B001 Mikro- ir nanotechnologijų fizikinių pagrindų moduliui.

Raktažodžiai: silicis, silicio dioksidas, difuzinė krosnis, oksidavimas, fotolitografija, ėsdinimas.

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms
Techninė specifikacija: 1. Silicio plokštelių paviršiaus valymas ir kontrolė. 2. Silicio izoterminio oksidavimo difuzinėje krosnyje tyrimas. 3. Silicio izochroninio oksidavimo difuzinėje krosnyje tyrimas. 4. Mikrostruktūrų formavimo optinės kontaktinės litografijos būdu tyrimas.
Taikymo sritys: Laboratorinius darbus atlieka Matematikos ir gamtos mokslų fakulteto Taikomosios fizikos bakalauro studijų programos ir Medžiagų ir nanotechnologijų bakalauro studijų programos studentai.
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma