Fenomenologinio modelio, aprašančio reaktyviojo joninio ėsdinimo metu paviršiuje vykstančius procesus, plonų dangų susidarymą, katalizės reakcijas ir kt., kūrimas
Aprašymas:
Fenomenologinio modelio, aprašančio reaktyviojo joninio ėsdinimo metu paviršiuje vykstančius procesus, plonų dangų susidarymą, katalizės reakcijas ir kt., kūrimas.
Raktažodžiai:
Katalizė, pavirčiaus šiurkštumas, difuzija
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos