MGMF
Ieškoti

Plazmocheminių technologijų taikymai: elementariųjų ir sudėtingų puslaidininkių, dielektrikų bei laidininkų ėsdinimas aktyviųjų dujų plazmoje

Raktažodžiai: elementarieji ir sudėtingieji puslaidininkiai; puslaidininkių, dielektrikų bei laidininkų ėsdinimas; aktyviųjų dujų plazma

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos
Elipsometras L117 Nr.166-AK
Dangų storio matuoklis Inficon XTM/2
Spektrofotometras Chema4-UV-Fiber
Ramano spektro sistema
Joninio ėsdinimo įrenginys
Diodinė AD vakuuminė sistema
Mikroskopas tamsaus lauko stebėjimui su priedais "NIKON Eclipse LV100D"
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma