MGMF
Ieškoti

Dvikomponenčių arba trikomponenčių medžiagų plonų sluoksnių sintezė
Aprašymas:

Trijų magnetronų sistema, su kuria vakuuminėje kameroje galima sintezuoti dvikomponenčių arba trikomponenčių medžiagų plonus sluoksnius. Tai pat galima užauginti daugiasluoksnę sistemą susidedančia iš dviejų arba trijų skirtingų medžiagų sluoksnių. Katodų skersmuo 3 coliai, storis nuo 1 mm iki 6 mm. Tokie sluoksniai taikomi mikroelektronikoje ir nanoelektronikoje plonų sluoksnių (paprastai iki 1 vieno mikrometro storio) sintezei. Veikimo principas: fizikinis katodo medžiagos dulkėjimas. Plazmos jonų iš katodo išmušta medžiaga nusėda ant norimų padėklų.

Raktažodžiai: magnetronas, ploni sluoksniai, dangos

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:

Naudojimas plonų sluoksnių auginimui vakuume, 3 colių skersmens katodai

Taikymo sritys: Sluoksnių auginimas vakuume
Užklausos forma