MGMF

Elipsometras L117 Nr.166-AK
Aprašymas:
"Lazerinis nulio elipsometras naudojamas plonų dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių storio ir lūžio rodiklio nustatymui. Lazerinė elipsometrija pagrįsta nuo bandinio atspindėtos monochromatinės poliarizuotos šviesos poliarizacijos parametrų analize. Lazerio spindulio bangos ilgis – 632,8 nm.. Plėvelių storis 0,001 - 1 µm. Storio matavimų neapibrėžtis - ±(2.5 - 10) Å. Lūžio rodiklio matavimo neapibrėžtis ±0.01, galimi matavimo kampai 30, 50, 70. Taikymo sritys: plonų polimerinių, dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių, pusiau skaidrių (<50 nm) metalo plėvelių storio ir lūžio rodiklio matavimas.

Raktažodžiai:
poliarizuota šviesa, optinės dangų savybės

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:
Šviesos šaltinis: HeNe lazeris, šviesos bangos ilgis λ=6328Å; tikslumas: 2,5Å - 10Å; spindulio skersmuo - 1 mm
Taikymo sritys:
Optinis dangų savybių nustatymas
Užklausos forma