MGMF

Diodinė AD vakuuminė sistema
Aprašymas:
Diodinė AD vakuuminė sistema

Raktažodžiai:
vakuuminė sistema, joninis ėsdinimas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:
Diodinė vakuuminė sistema su RF šaltiniu
Taikymo sritys:
Puslaidininkių medžiagų plazminis ir plazmocheminis ėsdinimas
Užklausos forma