MGMF

Joninio ėsdinimo įrenginys
Aprašymas:
Joninio ėsdinimo įrenginys

Raktažodžiai:
joninis ėsdinimas, dujų išlydis

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:
Vakuuminis įrenginys su RF šaltiniu ir plazmos generavimo kamera
Taikymo sritys:
Plonų dangų formavimas ir šalinimas, paviršiaus veikimas jonais
Užklausos forma