Trijų magnetroninių šaltinių garinimo sistema
Aprašymas:
Trijų magnetronų sistema, su kuria vakuuminėje kameroje galima sintezuoti dvikomponenčių arba trikomponenčių medžiagų plonus sluoksnius. Tai pat galima užauginti daugiasluoksnę sistemą susidedančia iš dviejų arba trijų skirtingų medžiagų sluoksnių. Katodų skersmuo 3 coliai, storis nuo 1 mm iki 6 mm. Tokie sluoksniai taikomi mikroelektronikoje ir nanoelektronikoje plonų sluoksnių (paprastai iki 1 vieno mikrometro storio) sintezei. Veikimo principas: fizikinis katodo medžiagos dulkėjimas. Plazmos jonų iš katodo išmušta medžiaga nusėda ant norimų padėklų.
Trijų magnetronų sistema, su kuria vakuuminėje kameroje galima sintezuoti dvikomponenčių arba trikomponenčių medžiagų plonus sluoksnius. Tai pat galima užauginti daugiasluoksnę sistemą susidedančia iš dviejų arba trijų skirtingų medžiagų sluoksnių. Katodų skersmuo 3 coliai, storis nuo 1 mm iki 6 mm. Tokie sluoksniai taikomi mikroelektronikoje ir nanoelektronikoje plonų sluoksnių (paprastai iki 1 vieno mikrometro storio) sintezei. Veikimo principas: fizikinis katodo medžiagos dulkėjimas. Plazmos jonų iš katodo išmušta medžiaga nusėda ant norimų padėklų.
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
Trijų magnetronų sistema, su kuria vakuuminėje kameroje galima sintezuoti dvikomponenčių arba trikomponenčių medžiagų plonus sluoksnius. Tai pat galima užauginti daugiasluoksnę sistemą susidedančia iš dviejų arba trijų skirtingų medžiagų sluoksnių. Katodų skersmuo 3 coliai, storis nuo 1 mm iki 6 mm.
Trijų magnetronų sistema, su kuria vakuuminėje kameroje galima sintezuoti dvikomponenčių arba trikomponenčių medžiagų plonus sluoksnius. Tai pat galima užauginti daugiasluoksnę sistemą susidedančia iš dviejų arba trijų skirtingų medžiagų sluoksnių. Katodų skersmuo 3 coliai, storis nuo 1 mm iki 6 mm.
Trumpas paslaugos aprašymas:
Atliekamas plonų funkcinių sluoksnių ir nanostruktūrų formavimas, naudojant pažangius fizikinius metodus, leidžiančius kurti paviršius su tikslingai valdomomis optinėmis, elektrinėmis, mechaninėmis ar kitomis savybėmis.
Atliekamas plonų funkcinių sluoksnių ir nanostruktūrų formavimas, naudojant pažangius fizikinius metodus, leidžiančius kurti paviršius su tikslingai valdomomis optinėmis, elektrinėmis, mechaninėmis ar kitomis savybėmis.