Plonų dangų formavimo sistema BY-1 – užnešimas garinant elektrolankiniu išlydžiu
Aprašymas:
Plonų dangų formavimo sistema BY-1 – užnešimas garinant elektrolankiniu išlydžiu
Raktažodžiai:
ploni sluoksniai
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:
Vakuuminis įrenginys su elektrolankinio išlydžio garinimo sistema, skirta plonų dangų formavimui
Taikymo sritys:
Sluoksnių auginimas vakuume
Sluoksnių auginimas vakuume