Plonų dangų formavimo sistema - užnešimas garinant elektronų spinduliu
Aprašymas:
Plonų dangų formavimo sistema - užnešimas garinant elektronų spinduliu
Raktažodžiai:
ploni sluoksniai
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:
Du (iki 8 kW) garinimo elektronų spinduliu šaltiniai; užnešimo sistemos vakuuminis įrenginys, skirtas plonų dangų formavimui; vakuminis rotacinis siurblys (A365-01-935, E2M80 std 240 415 3)
Taikymo sritys:
Sluoksnių auginimas vakuume
Sluoksnių auginimas vakuume