Elipsometras L117 Nr.166-AK
Aprašymas:
"Lazerinis nulio elipsometras naudojamas plonų dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių storio ir lūžio rodiklio nustatymui. Lazerinė elipsometrija pagrįsta nuo bandinio atspindėtos monochromatinės poliarizuotos šviesos poliarizacijos parametrų analize. Lazerio spindulio bangos ilgis – 632,8 nm.. Plėvelių storis 0,001 - 1 µm. Storio matavimų neapibrėžtis - ±(2.5 - 10) Å. Lūžio rodiklio matavimo neapibrėžtis ±0.01, galimi matavimo kampai 30, 50, 70. Taikymo sritys: plonų polimerinių, dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių, pusiau skaidrių (<50 nm) metalo plėvelių storio ir lūžio rodiklio matavimas.
"Lazerinis nulio elipsometras naudojamas plonų dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių storio ir lūžio rodiklio nustatymui. Lazerinė elipsometrija pagrįsta nuo bandinio atspindėtos monochromatinės poliarizuotos šviesos poliarizacijos parametrų analize. Lazerio spindulio bangos ilgis – 632,8 nm.. Plėvelių storis 0,001 - 1 µm. Storio matavimų neapibrėžtis - ±(2.5 - 10) Å. Lūžio rodiklio matavimo neapibrėžtis ±0.01, galimi matavimo kampai 30, 50, 70. Taikymo sritys: plonų polimerinių, dielektrinių ir puslaidininkinių plėvelių, pusiau skaidrių (<50 nm) metalo plėvelių storio ir lūžio rodiklio matavimas.
Raktažodžiai:
poliarizuota šviesa, optinės dangų savybės
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:
Šviesos šaltinis: HeNe lazeris, šviesos bangos ilgis λ=6328Å; tikslumas: 2,5Å - 10Å; spindulio skersmuo - 1 mm
Šviesos šaltinis: HeNe lazeris, šviesos bangos ilgis λ=6328Å; tikslumas: 2,5Å - 10Å; spindulio skersmuo - 1 mm
Taikymo sritys:
Optinis dangų savybių nustatymas
Optinis dangų savybių nustatymas