Terminio, magnetroninio dulkinimo (ang. sputtering) bei atominio sluoksnių nusodinimo įranga integruota į inertinės atmosferos sistemą
Aprašymas:
Platforma skirta itin plonų, konformalių nanodalelių ir funkcinių plėvelių formavimui fotovoltiniams, puslaidininkiniams ir energijos konversijos įrenginiams. Sistema leidžia tiksliai kontroliuoti sluoksnių storį atominiu tikslumu, užtikrinant aukštą vienodumą sudėtingos geometrijos struktūrose.
Platforma skirta itin plonų, konformalių nanodalelių ir funkcinių plėvelių formavimui fotovoltiniams, puslaidininkiniams ir energijos konversijos įrenginiams. Sistema leidžia tiksliai kontroliuoti sluoksnių storį atominiu tikslumu, užtikrinant aukštą vienodumą sudėtingos geometrijos struktūrose.
Raktažodžiai:
optoelektronika
Techninė specifikacija:
GEMStar XT ALD reaktorius
sistema skirta nanometrinių sluoksnių nusodinimui naudojant atominės sluoksnių nusodinimo (ALD) technologiją. Ji leidžia formuoti oksidų, metalų oksidų ir funkcinius plonus sluoksnius saulės elementams, puslaidininkiams, katalizatoriams ir sensoriams. Sistema valdoma GEMFlow programine įranga, užtikrinančia tikslią temperatūros, dujų srautų, precursorių impulsų ir vakuumo ciklų kontrolę. Įrenginys palaiko tiek terminį ALD, tiek plazma sustiprintą ALD (PEALD) režimus ir užtikrina itin konformalių dangų formavimą net sudėtingos topologijos paviršiuose.
GEMStar XT ALD reaktorius
sistema skirta nanometrinių sluoksnių nusodinimui naudojant atominės sluoksnių nusodinimo (ALD) technologiją. Ji leidžia formuoti oksidų, metalų oksidų ir funkcinius plonus sluoksnius saulės elementams, puslaidininkiams, katalizatoriams ir sensoriams. Sistema valdoma GEMFlow programine įranga, užtikrinančia tikslią temperatūros, dujų srautų, precursorių impulsų ir vakuumo ciklų kontrolę. Įrenginys palaiko tiek terminį ALD, tiek plazma sustiprintą ALD (PEALD) režimus ir užtikrina itin konformalių dangų formavimą net sudėtingos topologijos paviršiuose.
Trumpas paslaugos aprašymas:
Saulės elementų plonų sluoksnių nusodinimo (ALD) paslaugos, apimančios nanometrinių oksidų ir funkcinių sluoksnių formavimą, naudojant kontroliuojamą atominės sluoksnių nusodinimo technologiją.
Saulės elementų plonų sluoksnių nusodinimo (ALD) paslaugos, apimančios nanometrinių oksidų ir funkcinių sluoksnių formavimą, naudojant kontroliuojamą atominės sluoksnių nusodinimo technologiją.