Inertinės atmosferos kameros su garinimo sistema
Aprašymas:
Sluoksnių formavimui skirta įranga, integruota į inertinės atmosferos kamerą.
Raktažodžiai:
Terminis garinimas, inertinė aplinka, organinė elektronika, sluoksnių liejimas
Mokslo kryptis:
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
Dviejų, tarpusavyje sujungtų, inertinės atmosferos kameros, skirtos dangų užnešimui. Apima liejimo metodus (liejimas išsukant) bei terminio garinimo metodus (PVD). Vakuumo kameroje įrengti 4 terminiai garintuvai: 2 skirti organinėms medžiagoms ir 2 skirti metalo elektrodams garinti. Užgarinto sluoksnio storis sekamas dviemis kvarco kristalo rezonatoriais.
Trumpas paslaugos aprašymas:
Fotovoltinių (Saulės) elementų gamybai, sluoksnių formavimui
Fotovoltinių (Saulės) elementų gamybai, sluoksnių formavimui